장비 상세보기

장비기본정보

기관명
(재)철원플라즈마산업기술연구원
장비명
광학용 마그네트론 스퍼터 (Magnetron Sputter for Optical Coating)
모델명
주문제작
제작사(국가)
㈜에스엔텍(대한민국)
제작년도
2007
용도
생산
분류
생산
취득일
2007.08.09
장비설명
금속박막 Sputter 증착용 장비로, 박막특성에 따른 디지털 전자기기 및 반도체 소자, 센서 분야 응용 공정장비
장비구성

성능
크기 : Ø1400×H1800 (mm)
기판 : 4 inch, Target : 3 inch
Target Source & Sputter Gun & Shutter : 3 set each
Shielding Plate : Polished Stainless Steel, 2 set
Power Supply : RF / AC / DC Power Supply (Max.1 kW)
View Ports & Accessory Ports
Load-lock Chamber Cassette : 5 ea
NTIS NO
NFEC-2011-01-137615
E-Tube NO

장비이용안내

사용방법
직접사용
사용료유형
시간당
이용료
설치형태
고정
설치장소
서면 기업지원연구동 조명연구동 클린룸
장비상태
정상
담당자
신정철 선임
연락처
0334529882
팩스
사용방법
온라인
 

주소: (24062) 강원특별자치도 철원군 서면 금강로 7194 (재)철원플라즈마산업기술연구원 TEL/033-452-9881~2 FAX/033-452-9883
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